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SuperViewW光學(xué)表面三維形貌輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)原理，用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量。通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SJ5800廣東表面粗糙度輪廓儀是一款能實(shí)現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析的檢測儀器。可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。如分別對發(fā)動機(jī)關(guān)鍵零部件節(jié)溫器內(nèi)筒、氣門搖臂及凸輪軸進(jìn)行高精度輪廓參數(shù)檢測。

中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度輪廓形狀測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量。

SJ5800輪廓粗糙度一體測量儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊.可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器。

粗糙度輪廓儀中圖儀器SJ5800系列采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對零件表面，對于復(fù)雜的工件，對工件任意位置進(jìn)行分段測量，并做成模板便于輪廓批量測量。