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以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測試的分辨率可達(dá)納米級。有測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)平行度、線性測長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀量程精度高，可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)，同時可進(jìn)行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量線速度、角度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000機(jī)床設(shè)備激光干涉儀品牌以光波為載體，其光波波長直接對米進(jìn)行定義，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、精密機(jī)械設(shè)備、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、三坐標(biāo)、機(jī)器人、線性位移平臺、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量，是高精度、高靈敏度測量儀器。

GTS激光跟蹤儀是工業(yè)測量系統(tǒng)中一種高精度的大尺寸測量儀器。它集合了激光干涉測距技術(shù)、光電探測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論等各種**技術(shù)，對空間運(yùn)動目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時測量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。它具有高精度、高效率、實(shí)時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測量。

國產(chǎn)自主研發(fā)GTS激光跟蹤儀是一種空間大尺寸三維坐標(biāo)精密測量的**幾何量儀器，不僅可以對靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測量，還可以對運(yùn)動的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測量，是大尺寸精密測量的主要手段。