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在工業應用中，SuperViewW三維光學輪廓檢測儀超0.1nm的縱向分辨能力能夠高精度測量物體的表面形貌，可用于質量控制、表面工程和納米制造等領域。

SuperViewW系列3D光學輪廓成像系統基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。

中圖儀器SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀光學成像具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW1三維光學輪廓測量儀以白光干涉技術為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.

中圖儀器SuperViewW系列3D光學檢測儀器基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式，對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW3d表面光學輪廓檢測儀以白光干涉技術為原理，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。